| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Etap roboczy Podróż | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120 MM |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Etap roboczy Podróż | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120 MM |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Etap roboczy Podróż | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120 MM |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 355x126mm |
| Etap roboczy Podróż | 200x100 mm |
| Skupienie | 90 mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 355x126mm |
| Etap roboczy Podróż | 200x100 mm |
| Skupienie | 90 mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |