| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Podróż na scenie roboczej | 355x125 mm |
| Podróż osi X/Y. | 200x120 mm |
| Oś z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+l/200um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Podróż na scenie roboczej | 355x125 mm |
| Podróż osi X/Y. | 200x120 mm |
| Oś z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+l/200um |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-400 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 455x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 300 x 150 mm |
| Skupienie | 120mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 355x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 200x100 mm |
| Skupienie | 90 mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 355x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 200x100 mm |
| Skupienie | 90 mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |