| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-420G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Powtarzalność | 2um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Powtarzalność | 2um |
