| Kod# | 525-020DP |
|---|---|
| Etap granitu | (310*220) mm |
| Szklany etap | (179,5*129,5) mm |
| Podróż osi x/y | (150*100) mm |
| Skale liniowe | Rozdzielczość: 0,5um |
| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Etap granitu | (310*220) mm |
| Szklany etap | (179,5*129,5) mm |
| Podróż osi x/y | (150*100) mm |
| Skale liniowe X/Y | Rozdzielczość: 0,5um |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Rozmiar etapu roboczego | 355x126mm |
| Podróż na scenie roboczej | 200x100 mm |
| Skupienie | 90 mm |
| Dokładność | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Podróż na scenie roboczej | 355x125 mm |
| Podróż osi X/Y. | 200x120 mm |
| Oś z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+l/200um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Podróż na scenie roboczej | 355x125 mm |
| Podróż osi X/Y. | 200x120 mm |
| Oś z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+l/200um |