| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 502-120G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Wymiary (SxGxW) | (1237*740*1664)mm |
| Waga | 380 kg |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Kod# | 529-120G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤2,5+L/200(um) |