| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (500*400) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280 tys. |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (600*500) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-480L |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (800*600) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (800*600) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (1500*1200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kod# | 525-020DP |
|---|---|
| Etap granitu | (310*220) mm |
| Szklany etap | (179,5*129,5) mm |
| Podróż osi x/y | (150*100) mm |
| Skale liniowe | Rozdzielczość: 0,5um |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Obiektyw | Podwójny obiektyw telecentryczny 0,088X |
| Odległość robocza | 120mm |
| Szerokie pole | Ø116mm(94x76) |
| Dokładność pomiaru | ±4um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Podróż na scenie roboczej | 355x125 mm |
| Podróż osi X/Y. | 200x120 mm |
| Oś z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+l/200um |