| Kod# | 522-120H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (500*400) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280 tys. |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (600*500) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-480L |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (800*600) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (800*600) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (1500*1200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lensy | Podwójny obiektyw telecentryczny 0,088X |
| Odległość robocza | 120 MM |
| Szerokie pole | Ø116mm(94x76) |
| Dokładność pomiaru | ±4um |