| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (500*500) mm |
| Przesuw osi Z | 300 mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z | Rozdzielczość: 0,1um |
| Tryb sterowania | Precyzyjna liniowa szyba przewodnia |
| Kod# | 523-280N |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (1200*1000) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Oś X/Y/Z Skala liniowa | Rozdzielczość: 0,1um |
| Dokładność osi XY | ≤2,5+L/200(um) |