| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granitowy etap | (310*220) mm |
| Szklana scena | (179,5*129,5) mm |
| Przejazd w osi X/Y | (150*100) mm |
| Skale liniowe X/Y | Rozdzielczość: 0,5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Etap roboczy Podróż | 355x125mm |
| Podróż w osi X/Y | 200x120mm |
| Oś Z | 110 mm |
| Dokładność pomiaru | ≤3+L/200um |
| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (500*500) mm |
| Przesuw osi Z | 300 mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z | Rozdzielczość: 0,1um |
| Tryb sterowania | Precyzyjna liniowa szyba przewodnia |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Powtarzalność | 2um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Powtarzalność | 2um |
| Kod# | 529-120J |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (500*400) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120H |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (400*300) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120G |
|---|---|
| Przesuw osi X/Y | (300*200) mm |
| Przesuw osi Z | 200mm |
| Skala liniowa osi X/Y/Z 3 (mm) | Rozdzielczość: 0,5um |
| Dokładność osi XY | ≤2,5+L/200(um) |